羅茨滑閥真空機組
羅茨滑閥真空機組為普通ZJ 型或ZJP 型帶旁通閥羅茨真空泵，由于ZJ 型或ZJP 型羅茨真空泵須在系統被前級滑閥真空泵抽到羅茨真空泵允許起動壓力后才可起動羅茨真空泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝一個電接點真空表，以此來控制羅茨真空泵的啟動壓力和工作壓力范圍。即當前級H-150D 滑閥真空泵起動后開始對系統進行預抽,當系統壓力即羅茨真空泵進氣口壓力達到預先設定好的電接點壓力表綠針所指值（即羅茨泵的允許起動壓力值）時，羅茨真空泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發生特殊情況當羅茨真空泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨真空泵即會自動停泵，這樣就可實現羅茨真泵的自動過載保護，從而可以避免因過載和發熱而導致泵發生故障。
本型號羅茨滑閥真空機組配用的前級滑閥真空泵泵，系引進*技術而創新開發的H-150D 型單級雙缸滑閥真空泵。該產品為目前國內同類產品的zui高水平，主要表現在振動低、噪聲小、在大氣至100pa入口壓力時的抽氣效率高；由于采用高壓油泵進行強制潤滑，即使在很高的入口壓力甚至在大氣壓下長期運行，也能保證滑閥真空泵具有可靠的工作性能，這是國內其它同類產品不具備的特性。
由于H-150D 型單級滑閥真空泵的諸多優點，從而保證了機組在大氣壓力至10pa入口壓力具有良好的抽氣效率。
本系列羅茨滑閥真空機組，為了防止前級滑閥真空泵因停機后可能出現的返油。在前級滑閥真空泵與羅茨真空泵的連接管道上應安裝電磁充氣閥，其動作與滑閥真空泵的聯動即啟動滑閥真空泵時電磁閥關閉，停止滑閥真空泵時電磁閥打開對系統充氣。